半导体
高纯石英材料由于其耐温,耐酸,低膨胀和极佳的管够透过性的特殊物理性能,满足了半导体工业对载具材料中碱金属和重金属含量的苛刻要求,成为该领域中不可缺少的材料。由其制造的扩散管,钟罩等贯穿了半导体制程扩散,氧化,沉积,蚀刻等关键过程。随着工艺的精进,石英材料在半导体生产过程中的到了更广泛的应用,例如承接平板显示技术中光掩膜基板的主要基材,高端大功率照明工具的关键材料。
高纯石英材料由于其耐温,耐酸,低膨胀和极佳的管够透过性的特殊物理性能,满足了半导体工业对载具材料中碱金属和重金属含量的苛刻要求,成为该领域中不可缺少的材料。由其制造的扩散管,钟罩等贯穿了半导体制程扩散,氧化,沉积,蚀刻等关键过程。随着工艺的精进,石英材料在半导体生产过程中的到了更广泛的应用,例如承接平板显示技术中光掩膜基板的主要基材,高端大功率照明工具的关键材料。